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随着半导体驱动的不断变化的数字技术的进步,对具有更高功能和存储能力的芯片的需求也在不断增长。越来越多的制造商开始投入生产,这就需要可信赖的手段将超纯和超高纯度的气体输送到蚀刻、光刻和其他重要设备上。
很多都依赖于无污染的气体:任何杂质都会影响纳米和微米尺寸的晶体管、二极管和集成电路的性能,如果芯片或晶圆受到损害,就会造成高昂的成本。有两个因素对半导体晶圆厂的超纯气体的完整性起着重要的作用:值得信赖的管道和管材的表面保护。
金属管的表面保护的电解抛光比机械表面处理有许多优点。直到最近,这种方法还很难与关键行业输送气体的黄金标准——无缝连续油管相匹配。作为合作伙伴的HandyTube可以与客户联手,对无缝线圈进行电抛光。现在,半导体晶圆厂只需一个采购步骤就可以确保必要气体的纯度。
电抛光无缝管的优点
电抛光管表面可确保超纯气体不改变化学成分。这是因为表面经过电化学过程,在直流电的作用下,金属经过电解液,可去除10 ~ 15 μ的制造颗粒,从而降低表面粗糙度,形成光滑、微光滑的表面。因为这个过程是通过电流实现,所以抛光可以精确的按照您所需的规格进行。优势包括:
不增加气体颗粒数,防止污染。 防腐蚀 化学纯度高,化学钝化性好。 减少摩擦和磨损。 使用无缝不锈钢盘管的优点
HandyTube生产的无缝不锈钢盘管非常适合新的工厂建设。我们可生产316L级长不锈钢管。传统的管道制造长度为20英尺必须连接到半导体设备才能接到长距离的气源地。通过生产更长的管材,需要的焊接更少,极大地减少污染或泄漏的机会。长无缝油管减少了与检查焊缝相关的成本高昂的劳动力,并且安装速度很快。
半导体制造商可以完全放心,他们的HandyTube无缝盘管和电抛光表面将完全满足质量和气体纯度标准。 以下是一些质量保证和优势:
带有电抛光表面的HandyTube无缝钢管符合重要的半导体行业标准,例如SEMI F 19,F 60等。 管材在美国HandyTube的ISO-9001认证工厂生产。 每个试管均经过第三方实验室测试。 油管可以在4到6周内从库存快速交付,所以新的工厂无需产生等待其他类型的油管费用和停机时间。 一步获得电抛光无缝管
对于新的半导体工厂而言,在不损害芯片或晶片质量的情况下传输超纯和超高纯度气体已成为生产的关键环节。该管材不仅必须抗污染和抗腐蚀,而且还必须易于获得并且方便安装。 现在,HandyTube为半导体制造商提供了一种方法,使他们可以一步获取可靠,无缝的电抛光盘管或直管,并有信心在满足行业严格的纯度和质量要求的前提下快速启动并进行生产。
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